Установка FB-CVD

"Установка FB-CVD компании SMI предназначена для нанесения однородных покрытий методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) на материалы в виде порошков или мелких частиц. Однородность наносимых покрытий достигается за счет использования в технологии CVD-реактора псевдосжиженного (кипящего) слоя. Данная система позволяет наносить на порошки покрытия, защищающие их от окисления и коррозии, подходит для создания композитных материалов и подготовки катализаторов. Данная технология используется, в том числе, для нанесения на частицы оптических покрытий, позволяющих использовать их в качестве сферических световозвращающих отражателей, применяемых в оптоэлектронике. Система FB-CVD включает в себя кварцевый реактор с фланцем-основанием и металлическим выхлопным патрубком. Реактор оснащен внешним нагревателем. На выходе из реактора установлен ротаметр. Для поддержки порошка во время проведения процесса в системе предусмотрена продуваемая кювета с удержателем частиц. Установка оснащена манометрами для измерения давления, а также дифференциальным манометром и системой блокировки при избыточном давлении. Каркас системы FB-CVD имеет панели для установки пневматической системы и газовых магистралей. Установка имеет четыре газовые линии с цифровыми массовыми контролерами расхода газа, пневматическими клапанами и фитингами. Опционально две линии могут быть снабжены устройствами барботирования для подачи жидких компонентов с помощью газа-носителя. При этом конструкция газовой линии оснащается двумя пневматическими клапанами. Система управления установкой Smart CVD включает в себя персональный компьютер с монитором, контроллер системы управления установкой. Помимо этого Smart CVD имеет интерфейсную систему, состоящую из интерактивной схемы управления установкой с обозначением всех элементов; систему редактирования заданных программ проведения процессов; окно статуса выполнения программы; простейший анализ трендов. Дополнительно установка может быть оснащена следующими опциями: вакуумной системой, системой фильтрации выхлопа перед насосом, системой барботирования жидкостей. Все установки SMI поставляются с базовым техническим процессом, заявленным заказчиком. Для всех установок предусматривается возможность доработки конструкции установки и дооснащение дополнительными узлами по техническому заданию заказчика."