Установка вакуумного напыления Kurt J. Lesker PVD500

Установка вакуумного напыления Kurt J. Lesker PVD500 фактически представляет собой установку PVD75 с вакуумной камерой увеличенного объема. Вакуумная камера позволяет размещать источники большой емкости и мощности для реализации процессов пилотного производства. Основное применения установки — электронно-лучевое напыление и магнетронное распыление на большие партии пластин. В установке можно реализовать большое и изменяемое расстояние источник-подложка, а также куполообразный держатель для электронно-лучевого напыления (процесс «lift-off»). Управление установкой осуществляется при помощи ПК с «тач-скрин» дисплеем. Установка работает как в полностью ручном, так и в автоматическом режиме по рецептам. В автоматическом режиме выполнение программы происходит по нажатию одной кнопки. Система настраивается таким образом, что стандартный процесс инициируется кнопкой старт сразу после закрытия камеры: откачка, очистка, напыления и напуск происходят автоматически по заранее заложенной программе. Широкий перечень опций установки PVD500 позволяет фактически конфигурировать установку под заказ в каждом случае. Установка может быть сконфигурирована практически для всех задач напыления в R&D лаборатории или на производстве. Дополнительно установка может быть укомплектована лодочками, тиглями и другими расходными материалами, полный перечень которых можно найти на сайте www.lesker.com. Пуско-наладочные работы, гарантийное и постгарантийное обслуживание всего модельного ряда установок Kurt J Lesker производит компания ЗАО «ЭлТех СПб» на правах эксклюзивного представителя компании Kurt J. Lesker в России.